网上证劵融资平台 华海清科获得发明专利授权：“基于电涡流的金属膜厚测量方法、装置及化学机械抛光设备”
证券之星消息网上证劵融资平台，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“基于电涡流的金属膜厚测量方法、装置及化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202411404778.9，授权日为2025年2月18日。
专利摘要：本申请提供了一种基于电涡流的金属膜厚测量方法、装置及化学机械抛光设备，该方法包括：在对晶圆上金属层进行抛光处理的过程中，通过电涡流传感器采集原始信号，所述原始信号用于指示所述晶圆上金属层的厚度或者所述晶圆外围的保持环上金属层的厚度；从所述原始信号中分离幅值信号和相位信号，并根据所述幅值信号确定位于所述保持环所在区域上的目标特征点，并获得所述目标特征点的厚度信息；根据所述目标特征点的厚度信息，确定在所述原始信号中所述目标特征点对应的位置信息；根据所述位置信息，确定偏移量；根据所述偏移量至少对所述相位信号进行校准，至少根据校准后的所述相位信号确定金属膜厚。本方案提高了晶圆在抛光过程中金属膜厚的测量准确性。
今年以来华海清科新获得专利授权12个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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